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plasma處理系統

plasma處理系統

簡要描述:plasma處理系統SAT-5D;采用皮拉尼真空技術,實時檢測和顯示樣品倉的真實真空度,具有1Pa的真空分辨率,能夠方便的接入MFC氣體流量控制儀,實現對氣體流量和真空度的控制和監測。

產品型號: SAT-5D

所屬分類:plasma處理系統

更新時間:2024-03-19

廠商性質:經銷商

詳情介紹

技術特點:

1.艙體、管路、閥體全部為不銹鋼材料,耐用、防腐容易清潔。

2.plasma處理系統SAT-5D實現了手動,自動兩種模式任意切換的工作方式,方便用戶實驗

3.儀器實現了程序化設計,預先編輯好程序,儀器可以自動完成實驗

4.無需任何耗材使用成本低,無需特殊進行維護,日常使用保持儀器清潔即可

5.電容式等離子激發,處理效果均勻,激發電極板內置樣品倉內頂部懸掛

6.密閉真空環境下完成實驗避免二次污染

7.13.56Mhz射頻電源,掃頻自動匹配,穩定可靠,具有自動保護功能。

8.靈活的參數設置和修改功能,可適應多種處理工藝。

9.plasma處理系統SAT-5D采用皮拉尼真空技術,實時檢測和顯示樣品倉的真實真空度,具有1Pa的真空分辨率,能夠方便的接入MFC氣體流量控制儀,實現對氣體流量和真空度的控制和監測。

10. 液晶屏+薄膜數字按鍵控制方式,操作直觀簡單穩定可靠。

技術規格參數:

型號:SAT-5D


不銹鋼/石英艙體

Φ150 mm×L255mm

可以選配石英轉鼓用來處理微顆粒以及粉末

工作氣路

兩路,可以選配MFC控制

射頻頻率

13.56MHz

射頻功率

0-150W,可調,掃頻自動匹配

控制系統

液晶屏+薄膜數字按鍵,實時顯示和檢測艙內真空度值

時間范圍

0—99分59秒連續可調

工作壓力

樣品倉內200Pa以內根據進氣量自動調節

工作氣體

空氣、氧氣、氮氫混合氣、氬氣、氮氣及其他惰性氣體與混合氣體均可

進氣壓力

空氣:常壓 連接氣體鋼瓶:0.1-0.3Mpa

工作模式

手動模式和程序化自動模式

真空泵

抽速:1升到5升每秒

輸入電源

~220V/50Hz

整機尺寸(D*W*H)

552X590X295mm

重量(約)

28Kg




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